普旭COBRADS2610/3010E真空泵*

普旭COBRADS2610/3010E真空泵*
普旭（Busch）是一家在*范围内提供真空泵、鼓风机和压缩机的生产厂家。到2015年为止，普旭在*范围内拥有3000名员工。广泛的真空泵系列、专业的真空知识、在真空系统建造方面的丰富经验以及广泛的服务网络，使得普旭（Busch）*有能力为客户提供理想并完善的真空解决方案。
基本情况编辑
普旭（Busch）是真空泵、鼓风机以及压缩机的厂商之一。产品系列涵盖了广泛应用于所有工业领域的真空和正压技术解决方案。凭借在真空泵及低压泵制造领域50多年的经验，普旭（Busch）可提供种类齐全的产品，为*提供广泛的工业真空技术。
普旭（Busch）创建于1963年，总部位于德国马尔堡。普旭（Busch）在德
国、瑞士、美国、英国、韩国、捷克共拥有6家现代化制造工厂，连同遍布于43个主要工业国家的61家分公司及完善的经销服务网络为*用户提供专业服务。
我们公司成立于1963年。我们在*40多个国家和地区拥有60多家公司，无论客户身在何处，我们都能为客户提供完善的建议和实际支持。
我们所有的产品都具有多种选项和*设计功能，以满足各种应用需求，因此我们的客户可以从最合适和具有成本效益的解决方案中受益。我们不断评估我们的活动，以保持最高标准，并继续开发定义真空系统应用未来的创新技术。
我们的总部位于德国Maulburg，主要的德国制造工厂所在地。Maulburg也是德国销售组织的所在地。Busch在瑞士，英国，捷克共和国，韩国和美国经营生产工厂。Busch集团是一家家族企业，由Busch家族成员管理。
Busch在*拥有3,000多名员工，包括许多化学工程，机械工程和服务专家。凭借我们的*服务网络，我们为客户提供真空泵和系统的无缝服务。Busch服务技术人员和工程师在*各个角落和许多行业维护真空系统-从北冰洋的海上石油勘探到巴塔哥尼亚的食品包装。
干式螺杆真空泵的原理：
干式螺杆真空泵，是利用一对螺杆，在泵壳中作同步高速反向旋转而产生的吸气和排气作用的抽气设备，两螺杆经精细动平衡校正，由轴承支撑，安装在泵壳中，螺杆与螺杆之间都有一定的间隙，因此泵工作时，相互之间无磨擦，运转平稳，噪音低，工作腔无需润滑油，因此，干式螺杆泵能抽除含有大量水蒸汽及少量粉尘的气体场合，极限真空更高，消耗功率更低，具有节能，免维修等优点。它是传统真空泵的更新换代产品，未来具有极大的市场前景。
COBRASemicon干式螺杆真空泵
极限压力：0.001-0.03hPa（mbar）
标称抽速50Hz：70-7385m?/h
标称抽速60Hz：85-7385m?/h
干式螺杆真空泵工作原理：
与螺杆式压缩机类似，螺杆式干式真空泵的工作过程可分为吸气、压缩和排气三个过程。随着转子的旋转，每对相互啮合的齿相继完成相同的工作循环，现在以其中一对齿来说明。
吸气过程
阳转子按逆时针方向旋转，阴螺杆按顺时针方向旋转。图中上方的转子端面是吸气断面，下方的端面为排气端面。
压缩过程
转于端面是排气端面。在这里，阳转子沿顺时针方向旋转，阴转于沿逆时针方向旋转。图中上方的转子端面是吸气断面，下方的端面为排气端面。
排气过程
螺杆泵的排气过程，齿间容积与排气孔口连通后，即开始排气过程。随着齿间容积的不断缩小，具有排气压力的气体逐渐通过排气孔口被排出，
COBRASemicon干式螺杆真空泵在半导体，太阳能模块和平板显示器生产等高要求工艺中以及众多工业涂料应用中使用效率*。
高效可靠
配备高效电机，COBRASemicon螺杆真空泵具有出色的节能潜力。简单的设计采用经过验证的Busch螺杆型材（可选配额外的直接法兰安装的罗茨真空泵），使COBRASemicon成为功能强大，可靠且低维护的真空发生器。
面向应用的
COBRASemicon螺杆真空泵有多种尺寸和型号可供选择，可与任何工艺*匹配。即使在空间有限的情况下，其紧凑的结构也简化了安装。这些泵具有同类产品中最高的抽速，可提供最大的产量（即使是氢气）和对颗粒的广泛耐受性。
COBRADS2610/3010E.
*螺丝设计
高效：
低运营成本，最少的维护，高正常运行时间
灵活：
面向应用
过程时间短：
由于抽速高
紧凑的设计

COBRADS2610/3010E是经过验证的COBRADS系列的干式螺杆真空泵。即使在需要高氢气吞吐量的条件下，它们的高抽速也使COBRADS螺杆真空泵成为光伏电池，平板和半导体生产中所有苛刻工艺的理想选择。*COBRADS螺杆真空泵技术可以将带粉末和颗粒的介质抽空。
COBRADS干式螺杆真空泵具有干式压缩，专门开发的螺杆型材和*的气体排放。结果是高度的蒸气和颗粒耐受性。螺钉由单件铸件制成，避免任何间隙，使得工艺流体或颗粒无法进入，从而防止腐蚀。
COBRADS2610/3010E标配集成真空助力器，可提供更高的抽速和极限压力。前级泵和真空助力器组合在一个紧凑的底座上。
COBRADS2610/3010E配备高效电机，具有出色的能效。由于维护要求低，运行成本低，正常运行时间长，生命周期长，因此总体拥有成本非常低，为此性能等级设定了标准。
由于采用嵌入式设计，可以快速，轻松地将这些螺杆真空泵改装到现有系统。

普旭COBRADS2610/3010E真空泵应用：
高密度等离子体CVD（HDP-CVD）
快速热处理（RTP）
亚大气压CVD（SACVD）
金属有机CVD（MOCVD）
等离子体增强CVD（PECVD）
低压CVD（LPCVD）
原子层沉积（ALD）
大容量负载锁定
技术规格
COBRADS2610/3010E是螺杆真空泵和一个真空助力器。螺杆真空泵的气缸内的两个螺杆转子以相反的方向旋转。泵送的介质被截留在汽缸和螺杆室之间，被压缩并被输送到气体出口。在压缩过程中，螺杆转子不会彼此接触或与气缸接触。因此，压缩室中不需要润滑剂或工作流体。COBRADS系列真空泵采用高效的间接水冷却，可在整个泵体内实现可控的温度分布，并可响应工艺变化。*螺杆设计可实现*的泵送速度，从而排出氢气。
普旭COBRA DS 0700 - 2000 G真空泵同类产品其他型号：
COBRADS0080/0160G             COBRADS0600E
COBRADS0700-2000G             COBRADS2610/3010E
COBRADS5161/9161A             COBRADS8162/8163A/E
COBRABA0100CCOBRAB            C0100/0200F
COBRABC0101FCOBRAB            C0101G
COBRABC0600FCOBRAB            C1000/2000F
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