普旭COBRADS5161/9161A真空泵

普旭COBRADS5161/9161A真空泵
上海谱瑞特工业自动化设备有限公司在欧美有多个分子公司，整个集团在行业内经营十几年专门致力于从事国际上*工业产品的进出口业务。在公司全体员工的努力及广大客户和业界同仁支持之下，公司业务迅速拓展，产品已经广泛应用于大中型电厂、冶金、石化、环保、纺织、铁路、船舶、医药机械、包装机械、纺织机械、食品机械、航天航空、楼宇控制等现代工业自动化领域。
普旭（Busch）是一家在*范围内提供真空泵、鼓风机和压缩机的生产厂家。到2015年为止，普旭在*范围内拥有3000名员工。广泛的真空泵系列、专业的真空知识、在真空系统建造方面的丰富经验以及广泛的服务网络，使得普旭（Busch）*有能力为客户提供理想并完善的真空解决方案。
我们可以利用超过50年的真空泵和低压泵制造经验。
我们公司成立于1963年。我们在*40多个国家和地区拥有60多家公司，无论客户身在何处，我们都能为客户提供完善的建议和实际支持。
我们所有的产品都具有多种选项和*设计功能，以满足各种应用需求，因此我们的客户可以从最合适和具有成本效益的解决方案中受益。我们不断评估我们的活动，以保持最高标准，并继续开发定义真空系统应用未来的创新技术。
我们的总部位于德国Maulburg，主要的德国制造工厂所在地。Maulburg也是德国销售组织的所在地。Busch在瑞士，英国，捷克共和国，韩国和美国经营生产工厂。Busch集团是一家家族企业，由Busch家族成员管理。
Busch在*拥有3,000多名员工，包括许多化学工程，机械工程和服务专家。凭借我们的*服务网络，我们为客户提供真空泵和系统的无缝服务。Busch服务技术人员和工程师在*各个角落和许多行业维护真空系统-从北冰洋的海上石油勘探到巴塔哥尼亚的食品包装。
普旭真空设备国际贸易（上海）有限公司是德国普旭（Busch）在中国的全资子公司，成立于2001年8月，位于上
海。装备精良的维修车间配有*成套进口设施用于净化（除污）、检测、维修及测试。另设有真空系统制造和调试车间，可以自主完成系统设计、组装和调试，以确保为客户量身定制的系统达到普旭（Busch）*的标准。同时，宽敞的室内仓库备有充足的产品和配件库存，保证及时现货供应，满足客户的需求。分别在北京、广州、成都、武汉设有办事处。
干式螺杆真空泵简介：
干式螺杆真空泵是技术含量非常高的科技产品，主要应用于高纯净的真空工艺过程,真空度*，可适应恶劣工况，具有抽取凝性、含颗粒物气体的能力，特别适宜于洁净环境，且易做防腐处理，特别适用于电子，化工，生物医药，金属加工，食品加工等领域。螺杆真空泵的内核部分——螺杆转子，采用三维曲面数学模型设计、求解，通过模型的实体在五坐标联动的数控设备上加工，精度高，质量可靠，性能稳定，保证了产品长时间*运行。
本产品的自主创新性，产品质量及价格都具有很强的市场竞争力，可大范围替代进口产品，市场需求量大，将在化工、冶金、电子、石油、航空航天、工具、造纸、包装、食品、医药、医疗器械、以及信息工程、生物工程、微电子等100多个领域全面取代目前技术含量较低的真空设备。
工作原理
与螺杆式压缩机类似，螺杆式干式真空泵的工作过程可分为吸气、压缩和排气三个过程。随着转子的旋转，每对相互啮合的齿相继完成相同的工作循环，现在以其中一对齿来说明。
吸气过程
阳转子按逆时针方向旋转，阴螺杆按顺时针方向旋转。图中上方的转子端面是吸气断面，下方的端面为排气端面。
压缩过程
转于端面是排气端面。在这里，阳转子沿顺时针方向旋转，阴转于沿逆时针方向旋转。图中上方的转子端面是吸气断面，下方的端面为排气端面。
排气过程
螺杆泵的排气过程，齿间容积与排气孔口连通后，即开始排气过程。随着齿间容积的不断缩小，具有排气压力的气体逐渐通过排气孔口被排出。
COBRASemicon干式螺杆真空泵
极限压力：0.001-0.03hPa（mbar）
标称抽速50Hz：70-7385m?/h
标称抽速60Hz：85-7385m?/h
COBRASemicon干式螺杆真空泵在半导体，太阳能模块和平板显示器生产等高要求工艺中以及众多工业涂料应用中使用效率*。
高效可靠
配备高效电机，COBRASemicon螺杆真空泵具有出色的节能潜力。简单的设计采用经过验证的Busch螺杆型材（可选配额外的直接法兰安装的罗茨真空泵），使COBRASemicon成为功能强大，可靠且低维护的真空发生器。
面向应用的
COBRASemicon螺杆真空泵有多种尺寸和型号可供选择，可与任何工艺*匹配。即使在空间有限的情况下，其紧凑的结构也简化了安装。这些泵具有同类产品中最高的抽速，可提供最大的产量（即使是氢气）和对颗粒的广泛耐受性。
*螺丝设计
高效：
低运营成本，最少的维护，高正常运行时间
灵活：
面向应用
过程时间短：
由于抽速高
紧凑的设计
COBRADS5161/9161A是经过验证的COBRADS系列的干式螺杆真空泵。即使在需要高氢气吞吐量的条件下，它们的高抽速也使COBRADS螺杆真空泵成为光伏电池，平板和半导体生产中所有苛刻工艺的理想选择。*COBRADS螺杆真空技术可以将含有粉末和颗粒的介质抽空。

COBRADS干式螺杆真空泵具有干式压缩，专门开发的螺杆型材和*的气体排放。结果是高度的蒸气和颗粒耐受性。螺钉由单件铸件制成，避免任何间隙，使得工艺流体或颗粒无法进入，从而防止腐蚀。
COBRADS5161/9161A标配集成真空助力器，可提供更高的抽速和极限压力。前级泵和真空助力器组合在一个紧凑的底座上。

COBRADS5161/9161A配备高效电机，具有出色的能效潜力。由于维护要求低，运行成本低，正常运行时间长，生命周期长，因此总体拥有成本非常低，为此性能等级设定了标准。
由于采用嵌入式设计，可以快速，轻松地将这些螺杆真空泵改装到现有系统。
普旭COBRADS5161/9161A真空泵应用
高密度等离子体CVD（HDP-CVD）
快速热处理（RTP）
亚大气压CVD（SACVD）
金属有机CVD（MOCVD）
等离子体增强CVD（PECVD）
低压CVD（LPCVD）
原子层沉积（ALD）

技术规格
COBRADS5161/9161A是螺杆真空泵和一个真空助力器。螺杆真空泵的气缸内的两个螺杆转子以相反的方向旋转。泵送的介质被截留在汽缸和螺杆室之间，被压缩并被输送到气体出口。在压缩过程中，螺杆转子不会彼此接触或与气缸接触。因此，压缩室中不需要润滑剂或工作流体。COBRADS系列真空泵采用高效的间接水冷却，可在整个泵体内实现可控的温度分布，并可响应工艺变化。*螺杆设计可实现*的泵送速度，从而排出氢气。
普旭COBRA DS 0700 - 2000 G真空泵同类产品其他型号：
COBRADS0080/0160G             COBRADS0600E
COBRADS0700-2000G             COBRADS2610/3010E
COBRADS5161/9161A             COBRADS8162/8163A/E
COBRABA0100CCOBRAB            C0100/0200F
COBRABC0101FCOBRAB            C0101G
COBRABC0600FCOBRAB            C1000/2000F
上海谱瑞特工业自动化设备有限公司，是一家从事机械自动化设备进口和电线电缆一家一应设备的公司，从业已经超过十年，在美国德国等多个欧美国家有着自己的分公司，货源稳定，可以从厂家直接拿货，自行报关通关，货期短，*，品质，我们的目标是为了中国更多的客户提供优质的服务。
普旭COBRADS5161/9161A真空泵